Eine besondere Anwendung ist die Restgasanalyse in “unkooperativen” Gasen, wie Chlor, Säuren, bis hin zu explosiven, reaktiven Gemischen. Eine Anwendung, die wir für einen Kunden entwickelt haben, misst Verunreinigungen von Permanentgasen in Dichlorsilan (dichlorosilane)! Desgleichen geht jetzt auch in BF3 Bortrifluorid Obwohl Wasserstoff vom Detektor angezeigt wird, funktioniert jetzt die Applikation Restgas in H2 mit dem HID!!! Dotierungen im Gas erlauben “ECD artige” Messungen. Isoliergasscheiben Gasverlust in neuer Geschwindigkeit und Nachweisempfindlichkeit. DIN 18008??
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